Herstellung von LED-Bildschirmen
Die GasPro™-Filter der Porvair Filtration Group sorgen für die hocheffiziente Beseitigung von Partikeln mit einer Größe von weniger als einem Mikrometer bei der Förderung von Prozessgas, das bei der Herstellung von HBLEDs (High Brightness Light Emitting Diodes) für Lampen, Displays und elektronische Anwendungen eingesetzt wird. Bei der Herstellung von Dünnfilm, Substraten und Geräten werden mechanisch robuste Filter mit hervorragender Beständigkeit gegen Korrosion und erhöhten Temperaturen, niedrigerem Druckabfall und höherer Schmutzaufnahmekapazität benötigt, um die gesamte Prozesseffizienz und die Helligkeit der LEDs zu verbessern.
Die Filter werden ausgiebig auf niedrige ppb-Werte (Parts per Billion) gereinigt und getrocknet, um jegliche Wechselwirkungen mit den Prozessgasen zu minimieren.
Unsere GasPro™-Filter sind als PTFE-Membran, 316L Sinterflo® Edelstahl, Nickel und Hastelloy C22 Sinterflo® P Pulvermetall für Materialien mit überragender Korrosionsbeständigkeit zur Förderung von reaktiven Prozessgasen wie zum Beispiel Ammoniak, CH4, CF4, Wasserstoff, N2O, NF3, Sauerstoff und Silan sowie von Edelgasen wie zum Beispiel Argon, Helium und Stickstoff. erhältlich.
Eigenschaften und Nutzen
- Filter für hohe Durchflussraten - Für eine überragende Beseitigung von Partikeln bei der Zufuhr von Massengas, vor Ort erzeugtem Gas, Spezialgas und Prozessgas
- Gasschrankschutz - Die Filter erhöhen die Betriebsdauer von Steuerungen, Reglern und Ventilen für große Durchflussmengen
- Schutz der Prozessausrüstung - Schutz der Prozessausrüstung wie zum Beispiel Vakuumpumpen bei der Züchtung von Kristallen, in EPI-Reaktoren und in weiteren Maschinen zur Förderung von Prozessgas bei der metallorganisch-chemischen Dampfabscheidung (MOCVD)
- Beseitigung von Partikeln - Beseitigung von toxischen und abrasiven Partikeln aus Abgasen
- Beseitigung durch Polizeifilter - POU-Filter für die Beseitigung von Partikel durch Polizeifilter
- Kostengünstige Lösungen - Die Filter sind mit weniger strikten Spezifikationen für benetzte Hardwareoberflächen für zusätzliche Kosteneinsparungen je nach Anwendung und Betriebsumgebung erhältlich.
Industriezweige